Intelligent Collaborative Process Parameter Optimization Technique

技術簡介 

智慧協作之製程參數最佳化技術：具備從製程參數快速估測產品品質的能力，可與製程工程師透過互動協作方式，加速研發速度，優化製程效能。

• 參數最佳化推薦技術：研發高效率循序取樣最佳化技術，由製程研發歷程提供下一個製程參數建議，由取樣實驗資料回饋更新模型。提供工程師輸入品質規格、真實實驗製程參數與品質量測資料，得到製程參數推薦。
• 製程品質預測技術：利用大量製程資料 (實際生產製程參數與品質量測資料或模擬資料) 建立品質特性預測模型，提供工程師在尚未執行真實試驗前，就快速估測出設定製程參數的品質特性。

技術特色

隨著全球製造業生產技術的迅速發展，如何提高生產良率和降低生產成本已成為企業提高競爭力的關鍵指標。由於製程技術不斷突破新的極限，傳統製程分析技術已面臨發展瓶頸。
本技術採用基於人工智慧之製程分析與最佳化技術，整合多種先進機器學習模型，建構製程模型描述製程參數與產品品質的關聯；研發前瞻循序取樣最佳化演算法，優化產品品質與生產效率。最終目標發展出一套完整的製程參數最佳化方法，有效縮短先進製程的研發週期和提升良率，達到Time to market之目標。

技術規格

智慧協作之製程參數最佳化技術：具提供工程師在尚未執行真實試驗前，就快速估測出設定製程參數的品質特性，並可提供製程參數建議。可協助工程師加速產品配方研發時程、優化製程效能。

應用範圍

製程配方參數研發、製程品質預測、製程品質改善。

圖1 智慧協作之製程參數最佳化技術

圖2 智慧協作之製程參數最佳化系統示意圖

聯絡窗口 

聯絡人：陳怡靜/ 巨量資訊科技與應用推廣部(C300)
電話：03-5915692
Email：itriA80134@itri.org.tw
https://www.itri.org.tw/
工研院資訊與通訊研究所